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屈芙蓉，中國科學(xué)院微電子研究所高級(jí)工程師，畢業(yè)于于北京理工大學(xué)光電工程系。長期從事微電子工藝和裝備研發(fā)相關(guān)工作，成功研制多臺(tái)套集成電路裝備，如：ICP、RIE、PECVD、ALD、PVD、超高真空系統(tǒng)及桌面式曝光機(jī)等。作為項(xiàng)目負(fù)責(zé)人/課題負(fù)責(zé)人，主持中科院重大科研儀器研制項(xiàng)目、國家重點(diǎn)研發(fā)、基金重大儀器等項(xiàng)目研制，主要從事微納加工新原理設(shè)備與材料制備的研究。先后獲得中科院集成電路系列科教融合設(shè)備研發(fā)及實(shí)踐教育教學(xué)成果特等獎(jiǎng)、北京市科技三等獎(jiǎng)。