南京埃米儀器科技有限公司（下簡稱：埃米儀器）完成數(shù)千萬元Pre-A輪融資，博將資本領投。本輪融資將用于進一步提升先進半導體制程用的高精密量測設備的國產(chǎn)替代能力，豐富產(chǎn)品種類，加大市場開拓力度能力。 埃米儀器成立于2022年，公司成立以來一直引領國內(nèi)高精密 3D 量測設備的國產(chǎn)化，攻克核心技術。產(chǎn)品聚焦于納米/亞納米級三維結(jié)構的高精密高速量/檢測裝備。產(chǎn)品主要應用于芯片制程中的微結(jié)構量測和缺陷檢測，解決相關領域的卡脖子技術。 截止目前，埃米儀器已推出在線工業(yè)級原子力顯微鏡量測設備APEX-X1（全自動機臺）、科研級原子力顯微鏡量測設備APEX-1000 （半自動機臺）、高速光學掃描輪廓儀UltraView-1000、UltraView-2000等。未來將持續(xù)推出混合量測設備、高通量原子力顯微鏡等設備。其在線工業(yè)級原子力顯微鏡APEX-X1已完成某芯片頭部企業(yè)的產(chǎn)品正式交付。 博將資本該項目投資負責人陸元昊表示，量測設備未來將與光刻設備并行發(fā)展，發(fā)揮至關重要的作用，而原子力顯微鏡作為精度最高的量測設備，在先進制程中正在成為量檢測主力設備。埃米儀器僅成立2年時間便成功研發(fā)出國內(nèi)首臺在線工業(yè)級原子力顯微鏡并已實現(xiàn)在某頭部芯片客戶交付。同時，公司通過推動高通量AFM、混合量測等方式彌補傳統(tǒng)AFM機臺在量檢測速度的限制，將大大拓寬傳統(tǒng)原子力顯微鏡的應用領域。我們堅定看好公司的發(fā)展，未來也將在多方面持續(xù)支持公司。 關于南京埃米儀器科技有限公司 南京埃米儀器科技有限公司是一家致力于研發(fā)和生產(chǎn)用于芯片制造高精密量測設備的技術企業(yè)。公司以芯片制造企業(yè)為主要客戶，產(chǎn)品聚焦芯片制造過程中晶圓表面粗糙度、CMP 輪廓、光刻及刻蝕中的三維結(jié)構等關鍵指標的在線檢測和量測，助力客戶大幅提高產(chǎn)品的良率、縮短工藝的研發(fā)進程。
