中國近年來向著科技自立自強的方向邁出了堅定的步伐，核心技術(shù)不斷突破，高端儀器設(shè)備持續(xù)涌現(xiàn)。近日消息，由蘇州博眾儀器科技有限公司（簡稱博眾儀器）自主研發(fā)的200kV透射電子顯微鏡BZ-F200已經(jīng)進入了小批試產(chǎn)階段，這標志著國產(chǎn)首臺200kV透射電子顯微鏡取得重大突破。透射電子顯微鏡被列為受限制的“35項關(guān)鍵技術(shù)”之一，是半導體、生命科學、材料科學等領(lǐng)域不可或缺的高端科學儀器，國內(nèi)市場需求巨大，但長期以來全部依賴進口，因此國產(chǎn)替代勢在必行。
博眾儀器透射電子顯微鏡總裝車間
博眾儀器自成立以來，專注于透射電子顯微鏡產(chǎn)品的研發(fā)，攻克了電子光學系統(tǒng)設(shè)計、超精密加工與裝配、合軸聯(lián)調(diào)、納米級精度測角臺等一系列核心技術(shù)，于2022年7月完成了工程樣機的研制，達到了預(yù)期目標，并在半導體、生命科學、材料科學等領(lǐng)域得到了應(yīng)用驗證。此后該公司又開發(fā)了第二代透射電子顯微鏡產(chǎn)品 BZ-F200，其性能指標同國外同類電鏡水平相當，首臺商業(yè)化產(chǎn)品交付在即。這期間公司實現(xiàn)了超高穩(wěn)定度高壓電源、場發(fā)射電子槍、熱場（肖特基）電子源、高穩(wěn)定度恒流源等核心技術(shù)與關(guān)鍵零部件的自主可控。
圖左一 電子源針尖與高溫比色 圖左二 電子加速陶瓷管 圖右一 200kV熱發(fā)射電子槍 圖右二 超高穩(wěn)定度高壓電源
據(jù)了解，BZ-F200這款產(chǎn)品可根據(jù)用戶需求選配熱發(fā)射電子槍或熱場發(fā)射（肖特基）電子槍，可實現(xiàn)EDS、STEM等多種功能。其工作電壓除200kV外，還可以切換至80kV、120kV等檔位。BZ-F200的鏡筒采用四級聚光鏡照明系統(tǒng)設(shè)計，可實現(xiàn)微米束和納米束、平行束和會聚束模式切換。
透射電子顯微鏡的研制得到了社會各界的廣泛關(guān)注與支持。近日，全國政協(xié)委員、中國物理學會常務(wù)理事、清華大學物理系教授段文暉院士及清華大學物理系陳曦教授一行蒞臨博眾儀器考察國產(chǎn)透射電子顯微鏡產(chǎn)業(yè)化進展情況，對博眾儀器所取得的重大成果給予了高度評價，對民營企業(yè)積極參與國家戰(zhàn)略給予了充分肯定，并對加快市場化推廣提出了殷切期望。
段文暉院士考察博眾儀器
蘇州博眾儀器科技有限公司表示，未來將繼續(xù)加大研發(fā)投入，不斷提升產(chǎn)品性能和技術(shù)水平，同時拓展基于電子束核心技術(shù)的多種類產(chǎn)品，為我國在高端儀器領(lǐng)域的發(fā)展注入新活力！
