分析儀器在集成電路技術發(fā)展中具有非常重要的地位。它們在材料分析、工藝監(jiān)控、失效分析和研發(fā)支持等方面都發(fā)揮著不可或缺的作用，為推動集成電路技術的進步提供了強有力的支持。隨著技術的不斷發(fā)展，分析儀器的種類和性能也在不斷提高和完善，為集成電路技術的持續(xù)創(chuàng)新提供了有力保障。2023年11月30日，第八屆分析儀器學術大會（ACAIC 2023）同期將特別舉辦“集成電路技術發(fā)展與分析儀器創(chuàng)新論壇”，誠摯邀請關心集成電路技術發(fā)展與分析儀器創(chuàng)新的業(yè)內外人士參會。
組織機構
中國儀器儀表學會分析儀器分會
中國科學院半導體所集成技術中心
冠名贊助
上海精測半導體技術有限公司
報告日程
主持人：中國科學院微電子研究所李超波研究員、中國科學院半導體研究所王曉東研究員
報告人簡介
劉慧勇，杭州士蘭微電子股份有限公司先進功率系統(tǒng)研究院院長，在芯片行業(yè)有22年從業(yè)經驗，工作內容涉及芯片的設計、制造與封裝。
王軼瀅，上海集成電路材料研究院性能實驗室總監(jiān)，從事光電半導體與集成電路領域技術研發(fā)、戰(zhàn)略研究與規(guī)劃工作多年，獲得多項發(fā)明專利與軟件著作權。曾帶領團隊完成我國首款國產商用皮秒全光纖激光器，以及多款國內領先的超短脈沖光纖激光器的開發(fā)。后從事科技戰(zhàn)略研究，研究范圍包括半導體技術與產業(yè)研究、宏觀及科技政策分析、科技管理機制創(chuàng)新等等，曾完成多項中科院、上海市及其他單位戰(zhàn)略研究課題。現作為科研支撐骨干參與國家重大項目實施，并承擔負責上海市及國家集成電路材料重大項目測試平臺課題，具體籌劃、組建及運營集成電路材料分析公共服務平臺，支持各項技術攻關任務實施，推進集成電路材料測試的科學評價體系建設，加速促進國產化替代。
鄭琦，博士，畢業(yè)于江蘇大學材料科學與工程學院，主要研究方向為耐熱合金成分設計及高溫氧化性能研究，主要運用TEM、FIB/TKD和SEM等顯微表征技術研究其機制，在《MSEA》、《Rare Metals》等期刊發(fā)表論文近10篇。畢業(yè)后加入上海精測半導體技術有限公司，目前主要負責公司自研聚焦離子束/電子束雙束顯微鏡產品應用、培訓、市場推廣和部分研發(fā)工作，參與國家基礎科研條件與重大科學儀器設備研發(fā)項目：聚焦離子束/電子束雙束顯微鏡，對電子顯微鏡的相關應用有多年的實操經驗。
閆方亮，中科院半導體所博士，米格實驗室創(chuàng)始人，寬禁帶半導體技術創(chuàng)新聯盟副秘書長，全國科技裝備業(yè)商會半導體專委會副秘書長、中關村芯學院高級講師、國際半導體協會SEMI化合物半導體分技術委員會委員。曾參與多項國家973課題，重點研發(fā)計劃及青年基金項目，2016年畢業(yè)后投身至半導體行業(yè)，專注半導體行業(yè)第三方共享實驗室平臺的建設。
顏偉，來自于中國科學院半導體研究所集成技術與工程研究中心，高級工程師。2007年在南開大學物理學院取得理學學士學位，2013年在中國科學院半導體研究所取得工學博士學位。主要科研方向是：氮化鎵基射頻及太赫茲器件。博士畢業(yè)后在一直半導體所集成中心工作。負責包括電子束曝光系統(tǒng)和時域熱反射測試系統(tǒng)在內的近10臺套設備和系統(tǒng)的管理、維護、工藝開發(fā)和對外加工服務工作。承擔國家級項目3項，參與6項。發(fā)表論文20余篇，申請專利10項。
屈芙蓉，中國科學院微電子研究所高級工程師，畢業(yè)于于北京理工大學光電工程系。長期從事微電子工藝和裝備研發(fā)相關工作，成功研制多臺套集成電路裝備，如：ICP、RIE、PECVD、ALD、PVD、超高真空系統(tǒng)及桌面式曝光機等。作為項目負責人/課題負責人，主持中科院重大科研儀器研制項目、國家重點研發(fā)、基金重大儀器等項目研制，主要從事微納加工新原理設備與材料制備的研究。先后獲得中科院集成電路系列科教融合設備研發(fā)及實踐教育教學成果特等獎、北京市科技三等獎。
關于ACAIC 2023
第八屆中國分析儀器學術大會（ACAIC 2023）定于2023年11月28-30日在浙江杭州召開。主題為“分析儀器創(chuàng)新進展、挑戰(zhàn)及對策”，將邀請科技管理人員、院士、知名學者和青年科技工作者參會并作學術報告。
會議包括：大會特邀報告、分會邀請報告、專題報告與討論、論文墻報展講、儀器展商/公司交流會等。同期還將舉行分析儀器、關鍵部件展覽。會議規(guī)模預計超過500人。
主辦單位：
中國儀器儀表學會分析儀器分會
承辦單位：
浙江大學生物醫(yī)學工程與儀器科學學院
中國計量大學計量測試工程學院
專題論壇：
1、體外診斷儀器創(chuàng)新論壇
2、質譜儀器創(chuàng)新論壇
5、集成電路技術發(fā)展與分析儀器創(chuàng)新論壇
6、科研儀器技術創(chuàng)新與標準化論壇
7、電子顯微鏡創(chuàng)新論壇
9、生物光學成像技術創(chuàng)新論壇
10、科學儀器在臨床中的轉化應用論壇
11、分析儀器關鍵部件創(chuàng)新進展論壇
詳細信息請見：
第八屆中國分析儀器學術大會（ACAIC 2023）通知（第二輪）
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會議地址
杭州太虛湖假日酒店
參會贊助聯系
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