分析儀器在集成電路技術(shù)發(fā)展中具有非常重要的地位。它們?cè)诓牧戏治?、工藝監(jiān)控、失效分析和研發(fā)支持等方面都發(fā)揮著不可或缺的作用，為推動(dòng)集成電路技術(shù)的進(jìn)步提供了強(qiáng)有力的支持。隨著技術(shù)的不斷發(fā)展，分析儀器的種類和性能也在不斷提高和完善，為集成電路技術(shù)的持續(xù)創(chuàng)新提供了有力保障。2023年11月30日，第八屆分析儀器學(xué)術(shù)大會(huì)（ACAIC 2023）同期將特別舉辦“集成電路技術(shù)發(fā)展與分析儀器創(chuàng)新論壇”，誠摯邀請(qǐng)關(guān)心集成電路技術(shù)發(fā)展與分析儀器創(chuàng)新的業(yè)內(nèi)外人士參會(huì)。
組織機(jī)構(gòu)
中國儀器儀表學(xué)會(huì)分析儀器分會(huì)
中國科學(xué)院半導(dǎo)體所集成技術(shù)中心
冠名贊助
上海精測(cè)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
報(bào)告日程
主持人：中國科學(xué)院微電子研究所李超波研究員、中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所王曉東研究員
報(bào)告人簡(jiǎn)介
劉慧勇，杭州士蘭微電子股份有限公司先進(jìn)功率系統(tǒng)研究院院長(zhǎng)，在芯片行業(yè)有22年從業(yè)經(jīng)驗(yàn)，工作內(nèi)容涉及芯片的設(shè)計(jì)、制造與封裝。
王軼瀅，上海集成電路材料研究院性能實(shí)驗(yàn)室總監(jiān)，從事光電半導(dǎo)體與集成電路領(lǐng)域技術(shù)研發(fā)、戰(zhàn)略研究與規(guī)劃工作多年，獲得多項(xiàng)發(fā)明專利與軟件著作權(quán)。曾帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)完成我國首款國產(chǎn)商用皮秒全光纖激光器，以及多款國內(nèi)領(lǐng)先的超短脈沖光纖激光器的開發(fā)。后從事科技戰(zhàn)略研究，研究范圍包括半導(dǎo)體技術(shù)與產(chǎn)業(yè)研究、宏觀及科技政策分析、科技管理機(jī)制創(chuàng)新等等，曾完成多項(xiàng)中科院、上海市及其他單位戰(zhàn)略研究課題?，F(xiàn)作為科研支撐骨干參與國家重大項(xiàng)目實(shí)施，并承擔(dān)負(fù)責(zé)上海市及國家集成電路材料重大項(xiàng)目測(cè)試平臺(tái)課題，具體籌劃、組建及運(yùn)營(yíng)集成電路材料分析公共服務(wù)平臺(tái)，支持各項(xiàng)技術(shù)攻關(guān)任務(wù)實(shí)施，推進(jìn)集成電路材料測(cè)試的科學(xué)評(píng)價(jià)體系建設(shè)，加速促進(jìn)國產(chǎn)化替代。
鄭琦，博士，畢業(yè)于江蘇大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院，主要研究方向?yàn)槟蜔岷辖鸪煞衷O(shè)計(jì)及高溫氧化性能研究，主要運(yùn)用TEM、FIB/TKD和SEM等顯微表征技術(shù)研究其機(jī)制，在《MSEA》、《Rare Metals》等期刊發(fā)表論文近10篇。畢業(yè)后加入上海精測(cè)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司，目前主要負(fù)責(zé)公司自研聚焦離子束/電子束雙束顯微鏡產(chǎn)品應(yīng)用、培訓(xùn)、市場(chǎng)推廣和部分研發(fā)工作，參與國家基礎(chǔ)科研條件與重大科學(xué)儀器設(shè)備研發(fā)項(xiàng)目：聚焦離子束/電子束雙束顯微鏡，對(duì)電子顯微鏡的相關(guān)應(yīng)用有多年的實(shí)操經(jīng)驗(yàn)。
閆方亮，中科院半導(dǎo)體所博士，米格實(shí)驗(yàn)室創(chuàng)始人，寬禁帶半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟副秘書長(zhǎng)，全國科技裝備業(yè)商會(huì)半導(dǎo)體專委會(huì)副秘書長(zhǎng)、中關(guān)村芯學(xué)院高級(jí)講師、國際半導(dǎo)體協(xié)會(huì)SEMI化合物半導(dǎo)體分技術(shù)委員會(huì)委員。曾參與多項(xiàng)國家973課題，重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃及青年基金項(xiàng)目，2016年畢業(yè)后投身至半導(dǎo)體行業(yè)，專注半導(dǎo)體行業(yè)第三方共享實(shí)驗(yàn)室平臺(tái)的建設(shè)。
顏偉，來自于中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所集成技術(shù)與工程研究中心，高級(jí)工程師。2007年在南開大學(xué)物理學(xué)院取得理學(xué)學(xué)士學(xué)位，2013年在中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所取得工學(xué)博士學(xué)位。主要科研方向是：氮化鎵基射頻及太赫茲器件。博士畢業(yè)后在一直半導(dǎo)體所集成中心工作。負(fù)責(zé)包括電子束曝光系統(tǒng)和時(shí)域熱反射測(cè)試系統(tǒng)在內(nèi)的近10臺(tái)套設(shè)備和系統(tǒng)的管理、維護(hù)、工藝開發(fā)和對(duì)外加工服務(wù)工作。承擔(dān)國家級(jí)項(xiàng)目3項(xiàng)，參與6項(xiàng)。發(fā)表論文20余篇，申請(qǐng)專利10項(xiàng)。
屈芙蓉，中國科學(xué)院微電子研究所高級(jí)工程師，畢業(yè)于于北京理工大學(xué)光電工程系。長(zhǎng)期從事微電子工藝和裝備研發(fā)相關(guān)工作，成功研制多臺(tái)套集成電路裝備，如：ICP、RIE、PECVD、ALD、PVD、超高真空系統(tǒng)及桌面式曝光機(jī)等。作為項(xiàng)目負(fù)責(zé)人/課題負(fù)責(zé)人，主持中科院重大科研儀器研制項(xiàng)目、國家重點(diǎn)研發(fā)、基金重大儀器等項(xiàng)目研制，主要從事微納加工新原理設(shè)備與材料制備的研究。先后獲得中科院集成電路系列科教融合設(shè)備研發(fā)及實(shí)踐教育教學(xué)成果特等獎(jiǎng)、北京市科技三等獎(jiǎng)。
關(guān)于ACAIC 2023
第八屆中國分析儀器學(xué)術(shù)大會(huì)（ACAIC 2023）定于2023年11月28-30日在浙江杭州召開。主題為“分析儀器創(chuàng)新進(jìn)展、挑戰(zhàn)及對(duì)策”，將邀請(qǐng)科技管理人員、院士、知名學(xué)者和青年科技工作者參會(huì)并作學(xué)術(shù)報(bào)告。
會(huì)議包括：大會(huì)特邀報(bào)告、分會(huì)邀請(qǐng)報(bào)告、專題報(bào)告與討論、論文墻報(bào)展講、儀器展商/公司交流會(huì)等。同期還將舉行分析儀器、關(guān)鍵部件展覽。會(huì)議規(guī)模預(yù)計(jì)超過500人。
主辦單位：
中國儀器儀表學(xué)會(huì)分析儀器分會(huì)
承辦單位：
浙江大學(xué)生物醫(yī)學(xué)工程與儀器科學(xué)學(xué)院
中國計(jì)量大學(xué)計(jì)量測(cè)試工程學(xué)院
專題論壇：
1、體外診斷儀器創(chuàng)新論壇
2、質(zhì)譜儀器創(chuàng)新論壇
5、集成電路技術(shù)發(fā)展與分析儀器創(chuàng)新論壇
6、科研儀器技術(shù)創(chuàng)新與標(biāo)準(zhǔn)化論壇
7、電子顯微鏡創(chuàng)新論壇
9、生物光學(xué)成像技術(shù)創(chuàng)新論壇
10、科學(xué)儀器在臨床中的轉(zhuǎn)化應(yīng)用論壇
11、分析儀器關(guān)鍵部件創(chuàng)新進(jìn)展論壇
詳細(xì)信息請(qǐng)見：
第八屆中國分析儀器學(xué)術(shù)大會(huì)（ACAIC 2023）通知（第二輪）
報(bào)名參會(huì)
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會(huì)議地址
杭州太虛湖假日酒店
參會(huì)贊助聯(lián)系
孫立桐（電話：15801142901，微信同號(hào)；郵箱：slt@fxxh.org.cn）
