“基礎(chǔ)科研條件與重大科學(xué)儀器設(shè)備研發(fā)”重點專項2021年度“揭榜掛帥”榜單詳細(xì)內(nèi)容如下：
一、申報說明
本批榜單圍繞半導(dǎo)體集成電路和光電子集成電路制造、微米納米材料制備及血液分析和細(xì)胞分析等重大應(yīng)用場景，擬解決重點領(lǐng)域高端科學(xué)儀器研發(fā)的關(guān)鍵實際問題，擬安排國撥經(jīng)費不超過4000萬元。每個榜單任務(wù)擬支持項目數(shù)為1項。項目下設(shè)課題數(shù)不超過5個，項目參與單位總數(shù)不超過10家。項目設(shè)1名負(fù)責(zé)人，每個課題設(shè)1名負(fù)責(zé)人。項目配套經(jīng)費與國撥經(jīng)費比例不低于1:1。
榜單申報“不設(shè)門檻”，項目牽頭申報和參與單位無注冊時間要求，項目（課題）負(fù)責(zé)人無年齡、學(xué)歷和職稱要求。申報團隊數(shù)量不多于擬支持項目數(shù)量的榜單任務(wù)方向，仍按程序進(jìn)行項目評審立項。明確榜單任務(wù)資助額度，簡化預(yù)算編制，經(jīng)費管理探索實行“負(fù)面清單”。
二、攻關(guān)要求
揭榜立項后，揭榜團隊須簽署“軍令狀”，對“里程碑”考核要求、經(jīng)費撥付方式、獎懲措施和成果歸屬等進(jìn)行具體約定，并將榜單任務(wù)目標(biāo)擺在突出位置，集中優(yōu)勢資源，全力開展限時攻關(guān)。項目（課題）負(fù)責(zé)人在揭榜攻關(guān)期間，原則上不得調(diào)離或辭去工作職位。
項目實施過程中，將最終用戶意見作為重要考量，通過實地勘察、仿真評測、應(yīng)用環(huán)境檢測等方式開展“里程碑”考核，并視考核情況分階段撥付經(jīng)費，實施不力的將及時叫停。項目驗收將通過現(xiàn)場驗收、用戶和第三方測評等方式，在真實應(yīng)用場景下開展，并充分發(fā)揮最終用戶作用，以成敗論英雄。由于主觀不努力等因素導(dǎo)致攻關(guān)失敗的，將按照有關(guān)規(guī)定嚴(yán)肅追責(zé)，并依規(guī)納入誠信記錄。
三、榜單任務(wù)
1. 聚焦離子束/電子束雙束顯微鏡
需求目標(biāo)：針對集成電路芯片設(shè)計修正和失效分析、樣品3D重構(gòu)、透射電鏡樣品制備等微納尺度檢測需求，突破高分辨率聚焦離子束、高分辨率場發(fā)射電子束獲得等核心技術(shù)，開發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)、性能穩(wěn)定可靠、核心部件全部國產(chǎn)化的聚焦離子束/電子束雙束顯微鏡，開發(fā)相關(guān)軟件，開展工程化開發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣，實現(xiàn)在微電子、光電子、微米納米材料等至少2個領(lǐng)域的應(yīng)用。具體需求目標(biāo)如下：
（1）液態(tài)鎵離子源聚焦離子束掃描分辨率≤5nm@30kV（雙束重合點），能量≥30kV，束流≥65nA。
（2）聚焦電子束分辨率≤1.2nm@1kV（雙束重合點），能量≥30kV，束流≥50nA；最大樣品直徑≥150mm，垂直方向高度調(diào)節(jié)范圍≥40mm。
（3）具備聚焦離子束材料刻蝕、沉積和透射電鏡樣品制備、3D結(jié)構(gòu)重構(gòu)能力。
（4）具備聚焦離子束加工過程中掃描電子束實時觀察能力。
（5）項目完成時通過可靠性測試和第三方異地測試，平均故障間隔時間≥3000小時，技術(shù)就緒度不低于8級。
時間節(jié)點：研發(fā)時限為3年，立項18個月后開展“里程碑”考核。
榜單金額：不超過2000萬元。
考核要求：科研樣機經(jīng)用戶試用，滿足用戶使用要求；形成批量生產(chǎn)能力，用戶已實際采購；符合項目任務(wù)書考核要求。
2. 高性能流式細(xì)胞分選儀
需求目標(biāo)：針對生物工程、生物安全檢測、醫(yī)學(xué)研究等行業(yè)血液和細(xì)胞分析需求，突破細(xì)胞高效檢測、細(xì)胞高效分選、百萬量級細(xì)胞數(shù)據(jù)處理、智能分析及分選等關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、核心部件全部國產(chǎn)化的高性能流式細(xì)胞分選儀，開發(fā)相關(guān)軟件和數(shù)據(jù)庫，開展工程化開發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣，實現(xiàn)在生物工程、生物安全檢測、醫(yī)學(xué)研究等至少2個領(lǐng)域的應(yīng)用。具體需求目標(biāo)如下：
（1）激光器波長數(shù)≥4；激發(fā)熒光波長數(shù)≥30。
（2）熒光檢測靈敏度：FITC≤80MESF，PE≤30MESF。
（3）細(xì)胞檢測和分析速度≥70000細(xì)胞/秒；分選純度≥98%；顆粒檢測范圍0.2~50μm。
（4）項目完成時通過可靠性測試和第三方異地測試，平均故障間隔時間≥3000小時，技術(shù)就緒度不低于8級。
時間節(jié)點：研發(fā)時限為3年，立項18個月后開展“里程碑”考核。
榜單金額：不超過2000萬元。
考核要求：科研樣機經(jīng)用戶試用，滿足用戶使用要求；形成批量生產(chǎn)能力，用戶已實際采購；符合項目任務(wù)書考核要求。
