10月26日，2023年全國電子顯微學(xué)學(xué)術(shù)年會在東莞市召開。國儀量子在會議期間發(fā)布了自主研制的聚焦離子束電子束雙束顯微鏡DB500、超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X。
聚焦離子束電子束雙束顯微鏡DB500
DB500擁有自主可控的場發(fā)射電子鏡筒和“承影”離子鏡筒，是一款優(yōu)雅全能的納米分析和制樣工具。高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）、低像差無漏磁物鏡設(shè)計(jì)，低電壓高分辨率成像，保證納米分析能力。“承影”離子鏡筒采用液態(tài)鎵離子源，擁有高穩(wěn)定、高質(zhì)量的離子束流，保證納米加工能力。集成式的納米機(jī)械手、氣體注入器、電子物鏡防污染機(jī)構(gòu)，擁有24個擴(kuò)展口，配置全面，自主可控，擴(kuò)展性強(qiáng)。
離子鏡筒"承影"
分辨率：3 nm@30 kV
探針電流：1 pA~50 nA
加速電壓范圍：500 V~30 kV
使用壽命：≥1000小時
長時間穩(wěn)定性：72小時不間斷工作
納米機(jī)械手
倉內(nèi)安裝方式
三軸全壓電驅(qū)動
步進(jìn)精度≤10nm
最大移動速度2mm/s
集成式控制方式
離子束-電子束協(xié)同
氣體注入器
單氣體注入
多種氣源可選
伸縮距離≥35 mm
重復(fù)定位精度≤10 um
加熱溫度控制精度≤0.1℃
加熱溫度范圍：室溫~90℃
集成式控制方式
超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X
SEM5000X是一款超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡，其分辨率達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設(shè)計(jì)、高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）以及鏡筒工藝升級，實(shí)現(xiàn)了低電壓分辨率的進(jìn)一步提升。全新設(shè)計(jì)的樣品倉，擴(kuò)展接口增加至16個，快速換樣倉最大支持8寸晶圓（最大直徑208 mm），極大擴(kuò)展應(yīng)用范圍。高級掃描模式和自動功能增強(qiáng)，帶來了更強(qiáng)的性能和更好的體驗(yàn)。
產(chǎn)品優(yōu)勢
1.超高分辨率成像，達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV
2.樣品臺減速和高壓隧道技術(shù)組合的雙減速技術(shù)，挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場景
3.高精度機(jī)械優(yōu)中心樣品臺、超穩(wěn)定性的機(jī)架減震設(shè)計(jì)，可搭配整體罩殼設(shè)計(jì)，極大減弱環(huán)境對極限分辨率的影響
4.最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉，滿足半導(dǎo)體和科研應(yīng)用需求
申報(bào)
